氧氣純度：
純氧、高純氧、超純氧（GB/T14599-2008) | |||
項目名稱 | 指標 | ||
國內醫用氧 | 國際醫用氧 | 高純氧 | |
氧氣（O2)的體積分數/10 ≥ | 99.2% | 99.5% | 99.7% |
氫氣（H2)的體積分數/10 ≤ | 0.1 | 0.5 | 1 |
氬（Ar）的體積分數/10 ≤ | 0.2 | 2 | 10 |
氮（N2)的體積分數/10 ≤ | 0.1 | 5 | 20 |
總烴含量（以甲烷計）/10 ≤ | 0.1 | 0.5 | 2 |
二氧化碳含量/10 ≤ | 0.1 | 0.5 | 1 |
水分/10 ≤ | 0.5 | 2 | 3 |
注：表中純度和含量均以體積分數表示（V/V)。 | |||
高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；
作為氧化源與產生高純水的反應劑；
干法氧化；
與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。
氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質；在冶金工業中有廣泛應用。
還可用于水質處理。
所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。
玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。
液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。
