何為高純氧呢，純度要在99.999%以上其他的雜質要極低的氧氣才能稱為高純氧，高純氧的分子式是：O2，大部分商品氧都是由空氣分離制造的。即將空氣液化后經精餾提純。也可采用低溫全精餾法。少量氧采用電解氧為原料，經催化脫氫可制取純度為99.99％以上的高純氧。其他純化方法有變壓吸附法和膜分離法。

     高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。

     氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質；在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。